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基礎信息Product information
產品名稱:

變溫探針臺

產品型號:HCCS-4

廠商性質:生產廠家

所在地:北京市

更新日期:2026-01-28

產品簡介:

華測儀器HCCS-4變溫探針臺是一種輔助執行機構,把需要測量的器件放到探針臺的載物臺上,配合顯微鏡,X-Y移動器件,找到需要探測的位置可以得到所需要的電性能參數。

產品特性Product characteristics
品牌華測

華測儀器HCCS-4變溫探針臺

價格僅供參考,如需獲取更詳盡的產品技術規格書、定制方案或應用案例,歡迎致電我司技術工程師


HCCS-4變溫探針臺由華測儀器生產,是一種輔助執行機構,把需要測量的器件放到探針臺的載物臺上,配合顯微鏡,X-Y移動器件,找到需要探測的位置;通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),準確扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機導通,通過測試機可以得到所需要的電性能參數。


產品參數

臺體參數

水平旋轉:可360°旋轉,可微調15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置

X-Y移動行程:4英寸*4英寸(卡盤X-Y軸無間隙移動)

X-Y移動精度:1μm

樣品固定:不低于4″卡盤,采用中間吸附孔和多圈吸附環固定樣品,均單獨控制,中間吸附孔下限可以選擇250微米

針座平臺:U型針座平臺,可同時容納2~4個CB-100探針座同時點測;帶有鎖定旋鈕夾盤,可以附加單獨的校準片載臺

樣品臺調節:平臺可升降調節適合加裝探針卡,便于針卡重定位

顯微鏡參數

顯微鏡環繞立柱旋轉式設計,便于快速移動顯微鏡,顯微鏡移動范圍覆蓋樣品臺;卡盤可做電極引出信號進行雙面測試。

總放大倍率:16倍~100倍

變焦:0.8倍~5倍

CCD:帶CCD接口和0.4XC-mount;下限分辨率至2μm

鏡座:雙目觀察傾斜45°,雙瞳距調節范圍:52~75mm,傾斜360°旋轉

X,Y,Z軸方向調節范圍:>50.8mm,調節精度小于2μm

工作距離:115mm,加裝2倍輔助鏡工作距離40mm

光源:帶外置LED高亮無極調節亮度環形光源

溫控參數

溫度范圍:室溫~400℃

分辨率:0.1℃

控溫精度:0.1℃

溫度穩定性:±1


變溫探針臺



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